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    晶體定向儀:
    0415-2155900
    傳真電話:
    0415-2155887
    無損探傷儀:
    0415-2150150
    傳真電話:
    0415-2151390
     
    YX-7M長晶棒定向儀


      針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設計,此儀器為雙工作位。

      標準配置如下:GA, GC測角儀。
        1、一側用于測3--8英寸晶圓片111、100面,還可測晶棒參考面(110)等角度。
        2、另一側用于測直徑5----8英寸,長800mm晶棒(111、100)晶面等角度。

      主要參數:

    項 目

    參 數

    晶棒直徑

    5---8英寸、最大11寸

    晶棒長度

    800 mm

    樣品板面積

    43寬×112高mm

    定向精度

    ±30″

    數顯方式

    θ:度;分;秒;最小讀數10″

    顯示器

    外置立式

    技術指標

    符合YX-2參數。

    尺 寸

    1210×810×1420 mm

     

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