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    • 4
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    晶體定向儀:
    0415-2155900
    傳真電話:
    0415-2155887
    無損探傷儀:
    0415-2150150
    傳真電話:
    0415-2151390
     
    YX-5A高精度晶體定向儀


       YX-5A高精度藍寶石晶體定向儀:是在YX-2D6A定向儀基礎上升級產品,配置單色器,數字顯示為6位,最小讀數1″,精度±15″針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,操作方便,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道,屬于通用熱銷機型。
       標準配置如下:GA, GB測角儀
       1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測晶棒參考面110;OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。
       2, 另一側GB專為晶棒設計,設計為寬130,長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托,能測Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ;如:硅(111)(100)藍寶石C面等角度;第一個測2---3英寸端面,第二個測4---6英寸端面。

      主要參數:

    項 目

    參 數

    晶棒直徑

    2---6英寸、最大8寸

    晶棒長度

    400 mm

    樣品板面積

    43寬×70高mm

    衍射方式

    前置 單色器,

    定向精度

    ±15″

    數顯方式

    θ:度、分、秒;

    數顯單位

    6位顯示 ;最小讀數1″

    顯示器

    立式外置

    技術指標

    符合YX-2參數。

     

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