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    晶體定向儀:
    0415-2155900
    傳真電話:
    0415-2155887
    無損探傷儀:
    0415-2150150
    傳真電話:
    0415-2151390
     
    YX-6FX射線晶體復檢儀

    用途:將粘接好的晶棒,連同料板一同拿到YX-6F定向儀上,料板底部靠在測角儀的基準面上,打開光閘進行復檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進行X軸的復檢測量,測量后的結果可與YX-6D的打印結果進行對照,如有差異,可將晶棒從料板取下,重新粘接,大大保證了切割前晶棒的粘接精度。

    技術參數:

    X射 線 管

    銅靶,陽極接地,強迫風冷

    管 電 壓

    30KVP,全壓合閘

    管 電 流

    0---5mA,連續可調

    整 機 功 率

    不大于0.3KW

    定 向 精 度

    ±30″

    蝸輪運動誤差

    不大于30″

    計數器轉角度

    -10°------+100°

    樣品轉角度

    -10°------+50°

    計 數 管

    蓋革管,電壓600-----1100V

    時間常 數

    分0.1、0.4、3秒三檔可調

    保 護

    高壓連鎖保護,溫度保護

    狹 縫

    4′、5′、6′

    外 型 尺 寸

    1200mm×650mm×1100mm

    儀 器 重 量

    250KG

    測樣品直徑

    硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片;

    測晶棒長度

    硅單晶 Φ3—8英寸;500毫米長晶棒

     

     

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